北京華卓精科科技股份有限公司
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UP-HBS-01-300設(shè)備是用于硅基功率器件退火加工的專業(yè)工藝設(shè)備,主要由工藝加工系統(tǒng)和晶圓傳輸系統(tǒng)組成。
混合鍵合設(shè)備
IGBT激光退火設(shè)備
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UP-SOTO1-300 EFEM/SORTER
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